一种微型光开关的设计与仿真分析

介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm, 能够满足器件转换光路的要求。