微机电系

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微机电系

: 微机电系统课程机电专业PPT学习教案.pptx 微机电系统课程机电专业PPT学习教案.pptx
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: 基于微机电系统的法布里珀罗可调光滤波器为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器, 提出了一种新型微机电系统(MEMS)可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗(F-P)腔。通过静电...
评级：0 浏览量：62 收藏量：0 资源大小：11.05MB 上传时间：2021-02-04

: 光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的波分复用提出了一种用阵列波导光栅复用光纤微机电系统法布里珀罗压力传感器的方法,实现了法布里珀罗压力传感器的准分布式测量。传感器基于法布里珀罗腔干涉的原理,采用微机电系统技术加工制作,用双波长方法解调干涉信号,利用...
评级：0 浏览量：68 收藏量：0 资源大小：796KB 上传时间：2021-02-10

: 基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度、位移的测量系统。采用激光差动多普勒技术, 检测谐振器在平面内的振动, 测量垂直于系统测量光轴方向的振动速度。并在差动多普勒测量光路的基础上加入了CCD 监测光路...
评级：0 浏览量：78 收藏量：0 资源大小：730KB 上传时间：2021-02-11

: 微机电系统红外脉冲光源调制特性的研究针对微机电系统热激发红外光源的动态特性,采用一种新的计算方法。即通过建立光源在不同初始温度下升温与加电时间、功率之间的关系,定量估算不同脉冲频率下辐射功率的调制深度。该方法可以计算调制深度大情况下的动态...
评级：0 浏览量：70 收藏量：0 资源大小：531KB 上传时间：2021-02-11

: 激光自混合微机电系统动态测试技术激光自混合干涉测量系统具有结构简单、紧凑、易准直、造价低廉等优点, 能够取代传统干涉仪用于位移、距离、速度、振动等物理量的测量, 将其引入到微机电系统(MEMS)动态测试中, 能够发展成结构小巧、造价低廉的MEMS...
评级：0 浏览量：86 收藏量：1 资源大小：2.73MB 上传时间：2021-02-26

: 一种新型微机电系统可调光衰减器一种新型的低成本、小体积的电磁驱动微机电系统可调光衰减器,可用于密集波分复用系统中各信道的动态增益平衡。该器件采用电磁线圈驱动绕100微轴转动的微反射镜,运动部件行程极小。驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB...
评级：0 浏览量：97 收藏量：0 资源大小：815KB 上传时间：2021-03-05

: mems微机电系统PPT教案学习.pptx mems微机电系统PPT教案学习.pptx
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: 垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征随着微机电系统的发展,器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表面轮廓测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上。测量系统采用了米劳显微干涉仪,利用压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直...
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: 大学实验 机电系 微控制器 MC9S08AW实验指导大学本科实验指导书，内容是 机电系 微控制器 MC9S08AW实验指导文档类型：word 文档内容：其中包括以下六个实验的所有操作步骤，以及相关项目代码：实验1 熟悉实验设备和CW6.3、实验2 并行口实验、实验3 键盘中断...
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: 释放孔对微机电系统变形镜光学性能的影响利用表面工艺制作的微机电系统(MEMS)变形镜具有体积小、分辨率高、驱动电压低等优点，然而镜面存在大量的释放孔形成一个规则的阵列结构，影响了变形镜的光学性能。设计制作了一种基于表面工艺的MEMS变形镜单元，研究...
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: 一种基于微机电系统技术的新型波长选择开关提出了一种新型的波长选择开关结构,用基于一维的微电机系统(MEMS)转镜实现切换的功能和透射式MEMS衰减器技术实现无干扰(Hitless)功能,相对于使用二维MEMS转镜同时实现波长切换和Hitless功能的WSS。其具有技术成熟,...
评级：0 浏览量：94 收藏量：0 资源大小：4.23MB 上传时间：2021-02-10

: 基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源提出了一种利用微机电系统(MEMS)制造工艺技术制备的硅基微型红外光源。该光源使用绝缘体上硅(SOI)晶片作为基底材料,其上沉积多晶硅材料并通过离子注入工艺实现材料的电阻加热发光特性,SOI晶片上的单晶硅层通过重掺杂...
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: 静电驱动连续面形微机电系统变形镜的制作基于三层多晶硅表面加工工艺和自适应光学经验公式，设计并制作了一种静电驱动的16单元连续面形微机电系统（MEMS）变形镜(DM)，并用ZygoNewView7300白光干涉仪对样片的静态特性和动态响应特性进行了测试。静态测试...
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