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半导体制造技术.ppt
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半导体制造技术.ppt
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半导体制造技术
气相成底膜到软烘
3
学习目标:
1
、光刻基本概
念,包括工艺描
述、
CD
划分、光
谱、
分辨率、工艺宽
容度等;
2
、负性和正性
光刻的区别;
3
、光刻的
8
个基本步骤;
4
、如何在光刻
前处理硅片表面
;
5
、描述光刻胶
并讨论光刻胶的
物理特性;
6
、讨论传统
I
线胶的化学性质和应用;
7
、深紫外光刻
胶的化学性质和
优点,包括化学放
大光
刻胶;
8
、解释在硅片
制造业中如何应
用光刻胶;
9
、讨论软烘的
目的,并解释它
如何在生产中完成
。
4
5
第十三章 光刻:
第十三章 光刻:
13.1
13.1
引言
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