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化学气相沉积课件
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化学气相沉积
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化学气相沉积课程的参考课件,里面有详细全面的介绍化学气相沉积,要做课件的可以参考下!
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用气相化学沉积法制备薄膜的过程,包括薄膜制备工艺本身和制备高纯度易挥发的原始材料(有机化合物,氢化物和卤化物)以及有关化学动力学和催化剂等理论问题的研究。对气相化学沉积法的巨大兴趣是用来制备光学参数较好的薄膜。一般情况下其性能大大优于用其他方法,如真空热蒸发、阴极或磁控溅射、离子辐射以及化学方法制备的薄膜。
微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN
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碳化错镀层的化学气相沉积 (2000年)
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碳化错是一种重要的高熔点、高强度和耐腐蚀的高温结构材料。为了进一步发展和开发利用高温气冷堆,用碳化错镀层替代碳化硅镀层制备新型的包覆燃料颗粒。采用化学气相沉积的方法,选用四氯化错、丙烯、氢和氨的反应体系,在直径为55mm的流化床沉积炉中制备碳化错镀层。为控制四氯化错粉末的流量研制了专用的送粉装置。研究表明碳化错镀层的密度随沉积温度而变化,反应气体中碳错的原子数比值和氢氨流量比值影响碳化错镀层性能和
薄膜沉积技术可以分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)
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薄膜沉积技术可以分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。对于CVD工艺,这包括原子层沉积(ALD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。PVD沉积技术包括溅射,电子束和热蒸发。CVD工艺包括使用等离子体将源...
半导体行业化学气相沉积
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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的制备
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利用CVD化学气相沉积法制备石墨烯的研.doc
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波导SOl化学气相沉积工艺特点
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在这一贡献中,首次描述了通过化学气相沉积在多孔混凝土模板中的模板辅助合成多孔碳。 多孔混凝土制成的模板几乎可以以任何几何形状获得,因此是制备多孔碳整料的有吸引力的模板。 多孔混凝土中的碳沉积过程遵循三个...
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