两室型离子刻蚀微调机运行流程示意图-测试(含部分源码)

本程序用于测试两室型离子刻蚀微调机的运行流程示意图。 该运行流程示意图的程序封装为一个DLL，测试程序在运行时会自动注册该DLL。 注意：测试时也需要按照真实操作流程顺序来测，否则，流程示意图可能无效果或逻辑异常。比如：如果预抽室抽了真空，后面没有放气的话，则直接送料就会无反应。 测试程序仅实现了部分功能的测试，也可通过DLL本身的调试界面进行测试。DLL调试界面中，基本上每个基本操作都有对应的按钮。 by freebird ([email protected])