铜离子注入铌酸锂的离子束增强刻蚀,王磊,项炳锡,采用MeV铜离子注入的方法注入铌酸锂单晶样品,研究了铜离子注入铌酸锂的增强刻蚀特性。利用湿法刻蚀、金相显微镜、扫描电子显微镜
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