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物理气相沉积真空蒸发技术PPT学习教案.pptx
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物理气相沉积真空蒸发技术PPT学习教案.pptx
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会计学
1
物理气相沉积真
空蒸发技术
一、电阻蒸发源
蒸发源材料的要求
1
)
熔
点
要
高
,
熔
点
要
高
于
被
蒸
发
物
质
的
蒸
发
温
度
(
多
在
1000~
2000℃
);
2
)
饱
和
蒸
气
压
低
,
减
少
蒸
发
源
材
料
蒸
气
的
污
染
。
要
求
:
蒸
发
材
料
的
蒸
发
温
度
低
于
蒸
发
源
材
料
在
平
衡
蒸
气
压为
10
-8
托时的温度
;
3
)化学性能稳定
,不与镀料反应
;
4
)
耐
热
性
好
,
热
源
变
化
时
,
功
率
密
度变
化较
小
;
5
)经
济耐用
。
第
1
页
/
共
44
页
金属电阻蒸发
源材料
加工性:
W
最差,室温很脆,需
400
℃
高温退火
Mo
好
T
a
最好
第
2
页
/
共
44
页
金属蒸发源与
镀料的反应
例子:钽与金;
铝、铁、镍、钴等与钨、钼、
钽。
改进方法:陶瓷坩埚
陶瓷坩埚的性能
第
3
页
/
共
44
页
镀料熔化后,若有沿蒸发源扩展的倾向时,
两者是浸润的。反之,是不浸润的。浸润时,为面
蒸发源,蒸发状态稳定。不侵润时,为点蒸发源,
若用丝式蒸发源时镀料易脱落。
镀料与蒸发源的浸
润性
第
4
页
/
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44
页
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2023-07-24
资源内容总结的很到位,内容详实,很受用,学到了~
shenlanzhijia
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