桂林电子科技大学
引言
薄膜的气相沉积一般需要三个基本条件:热的气相源、
冷的基板和真空环境。
在寒冷的冬天,窗玻璃上往往结霜;人们乍一进入温
暖的房间,眼镜片上会结露。不妨将上述“霜”和“露”看
作气相沉积的“膜”,则火炉上沸腾水壶中冒出的蒸汽则
是“热的气相源”,冰冷的窗玻璃和眼镜片则是“冷的基
板”。那么,为什么真空环境也是薄膜气相沉积的必要
条件呢?
一般说来,工业上利用真空有下述几条理由:①化学
非活性;②热导低;③与气体分子之间的碰撞少;④
压力低。通过本章的学习,可以了解真空环境对于薄
膜气相沉积的必要性,并为真空获得、真空测量及真
空应用等建立必要的理论基础。
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