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真空镀膜基础知识PPT学习教案 真空镀膜是一种常用的薄膜制备方法，广泛应用于电子、光电、机械等领域。为了更好地理解真空镀膜的原理和应用，我们需要了解真空镀膜的基础知识。 气相沉积成膜是一般的真空镀膜过程。该过程包括五个步骤： 1. 原料及衬底的预处理（清洁等） 2. 原料的气化（蒸发、升华、溅射、电离离化） 3. 将粒子输运到衬底上（分子、原子、离子的飞行、扩散） 4. 粒子在衬底上析出（附着、楔入） 5. 薄膜的形成（热运动、碰撞、结合） 薄膜的主要性能包括膜厚、膜表面形貌、膜机构特性、膜应力、膜与衬底的接触特性、膜的致密性、膜的化学、热稳定性等。这些性能对薄膜的应用和品质有着重要的影响。 薄膜分析常用方法包括扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射（XRD）等。这些方法可以分析薄膜的表面信息、结构信息、膜厚、膜机构特性等。 真空知识是真空镀膜的基础。真空是指低于一个大气压的状态，真空度是指真空状态下气体的稀薄程度。真空的特点包括气体分子平均自由程大、单位面积上分子与固体表面碰撞几率变小、气体分子密度低、剩余气体对沉积膜的掺杂减小等。 根据真空度的不同，真空应用可以分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个阶段。每个阶段都有其特点和应用领域。例如，粗真空可以用于真空吸引或运输固体、液体、胶体等，低真空可以用于无氧化加热、真空隔热及绝缘，高真空可以用于真空冶金、真空镀膜等，超高真空可以用于真空器件的生产等。 真空镀膜基础知识涵盖了真空镀膜的原理、薄膜的主要性能、薄膜分析常用方法、真空知识和真空应用等方面的内容。了解这些知识是掌握真空镀膜技术的基础。 在真空镀膜过程中，气体的状态和运动方式是非常重要的。气体的状态可以分为粘滞流、中间流和分子流三个阶段。气体的运动方式也可以分为粘滞流、中间流和分子流三个阶段。了解气体的状态和运动方式是掌握真空镀膜技术的关键。 真空镀膜技术有着广泛的应用前景。例如，在电子行业，真空镀膜可以用于制作各种电子元器件，如微处理器、存储器、显示器等。在光电行业，真空镀膜可以用于制作各种光电器件，如太阳能电池、LED等。在机械行业，真空镀膜可以用于制作各种机械零部件，如齿轮、轴承等。 真空镀膜基础知识是掌握真空镀膜技术的基础。了解真空镀膜的原理、薄膜的主要性能、薄膜分析常用方法、真空知识和真空应用等方面的内容是非常重要的。