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薄膜制备的真空技术基础PPT学习教案.pptx
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会计学
1
薄膜制备的真
空技术基础
第一章 薄
膜制备的真
空技术基础
气体分子运动论
的基本概念
真空的基本概念
1.3
各类真空泵简介
1.4
真空测量技术
1.5
几种典型真空系统的建立
第
1
页
/
共
81
页
1.1
气体分子运
动论的基本
概念
1.
描述气体分子状态的宏观物理量
-P
、
T
、
V
理想气体:
气体分子之间除了相互碰撞的瞬间外,
完全不存在相互作用。
一般的温度和压力条件下,所有的气体都可以被
看作是理想气体。
真空技术中研究气体时,一般可以应用理想气体
状态方程。
第
2
页
/
共
81
页
1.1
气体分子运
动论的基本
概念
1.
描述气体分子状态的宏观物理量
-P
、
T
、
V
(
1
)
理想气体状态方程:
P
:
压强(
Pa
);
m
:气
体质量(
Kg
);
V
:体积
(
m
3
);
R
:普适气体
常数
-1
K
-1
:
T
:绝对温度
(
K
)
讨论:
对于一定质量的气体,当气体温度一定时,
PV = K
(与温
度有关的常数),
此即波义耳
-
马略特定
律(机械泵的理
论基础)。
第
3
页
/
共
81
页
m
ol
m
P
V
R
T
M
1.1
气体分子运
动论的基本
概念
1.
描述气
体分子状态
的宏观物
理量
-P
、
T
、
V
(
2
) 阿
伏加德罗定
律:(
理想气体状
态方程的
第二种表达
方式)
n
为气体分子密度(
1/m
3
);波尔兹蔓常数
k=R/N
A
=1.38
10
-23
JK
-1
;
N
A
为阿伏加德罗常数,
10
23
mol
-1
表明在相同压强和温度下,各种气体单位体积含分子数相同(与气体种类
无关)。
在标准状态下,任何气体的分子密度为
3
10
19
个
/m
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n
k
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