准分子激光

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准分子激光

: 准分子激光器 准分子激光器对于紫外区来讲目前仍仅限于稀有气体(氦、氪、氩)和稀有气体，卤化物。其中较实用的有稀有气体氟化物（氟化氩、氟化氪、氟化氦)，其不但在实验中应用，并发展为商品，本文考虑到实用性，只对放电激励的...
评级：0 浏览量：72 收藏量：0 资源大小：1.18MB 上传时间：2021-02-08

: 基于Zemax软件的准分子激光模拟提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。...该方法解决了准分子激光光能量空间分布较为复杂难以进行光学模拟的问题，同时也为准分子激光的光学特性研究以及应用于准分子激光光学元件的研发提供了技术基础。
评级：0 浏览量：260 收藏量：1 资源大小：3.18MB 上传时间：2021-02-05

: XeCl准分子激光的超精细光谱结构本文通过振动-旋转耦合的旋转谱线计算,解释了XeCl准分子激光的超精细光谱结构.计算结果与实验很好地符合.
评级：0 浏览量：63 收藏量：0 资源大小：2.74MB 上传时间：2021-02-09

: 准分子激光器的应用 1975年首次演示稀有气体卤化物准分子激光器以来，这种激光器已被热情地誉为新一代紫外激光器,一次紫外革命,是气体激光器的一匹新骏马。与以前发展的激光器相比较，由于设计上与其他放电激光器基本相同以及明显的商业...
评级：0 浏览量：76 收藏量：0 资源大小：3.21MB 上传时间：2021-02-05

: 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...
评级：0 浏览量：88 收藏量：0 资源大小：7.68MB 上传时间：2021-02-04

: 准分子激光器用户扩大西德Lambda Physik公司宣布了一个价值100万美元的工业激光器新合同，由西门子Interatom公司订购EMG1003型准分子激光器作保密应用。同样金额的准分子激光器合同，只宣布过两个。
评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：1.05MB 上传时间：2021-02-25

: 准分子激光器的进展 1980年11月在波士顿举行的电光学/激光会议上，准分子激光器设计方面的报告引起了大家的兴趣。
评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：680KB 上传时间：2021-02-08

: KrF准分子激光空间相干性测量设计制作了一套反转剪切干涉仪,测量了KrF准分子激光的空间相干性。用这种方法,能够一次测量激光的空间相干度,并且在不用条纹相机的条件下能够实时测量相干度随时间的变化过程。在有注入、无注入锁定及在非稳腔中经过...
评级：0 浏览量：59 收藏量：0 资源大小：1.4MB 上传时间：2021-02-11

: 准分子激光技术发展介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。...分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用。
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：7.45MB 上传时间：2021-02-11

: 准分子激光用于光刻设备罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说：光刻设备利用准分子激光，可望提供X射线光刻的大部分优势，而避免其许多缺点。
评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：643KB 上传时间：2021-02-08

: 高功率准分子激光MOPA系统光束平滑技术研究在充分调研大型激光系统多种光束平滑技术基础上，针对高功率准分子激光系统波长短、宽频带等特点，选用了无阶梯诱导空间非相干(EFISI)技术来实现角多路高功率准分子激光系统的平滑化。利用前端部分相干散射源和严格...
评级：0 浏览量：49 收藏量：0 资源大小：3.51MB 上传时间：2021-02-05

: XeCl准分子激光器寿命的研究 XeCI准分子激光器的寿命主要取决于HCI消耗的情况。实验结果表明,在环氧树脂筒的激光器室中,补充适量而价廉的HCI气体,器件寿命就可延长。我们在一次充入Xe气和Ar气的前提下,适时补充几次HCI,已获得大于1.03×10~6个...
评级：0 浏览量：66 收藏量：0 资源大小：3.96MB 上传时间：2021-02-09

: 以准分子激光生产微型芯片以准分子激光生产微型芯片
评级：0 浏览量：39 收藏量：0 资源大小：1.4MB 上传时间：2021-02-11

: 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型，模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布，讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系，分析了激光能量密度对薄膜...
评级：0 浏览量：86 收藏量：0 资源大小：4.72MB 上传时间：2021-02-04

: 150ns长脉宽XeCl准分子激光器的研究通过采用多级L-C峰化回路、增大输出镜反射率、改变HCl浓度的方法,使XeCl准分子激光的脉冲宽度达到150 ns以上(最大脉宽达175 ns),单脉冲能量大于120 mJ。同时对紫外准分子激光的光纤耦合系统进行了研究,直径为0.4,0.6...
评级：0 浏览量：52 收藏量：0 资源大小：1.13MB 上传时间：2021-02-11

: 准分子激光微透镜整形均束装置 准分子激光为峰值功率高、能量大的脉冲激光，同时具备波长在紫外波段的特殊性，在科研、医疗和工业等诸多领域具有十分重要的应用价值。但由于准分子激光器的工作原理所限，通常情况下其输出激光的光斑形状并不规则且...
评级：0 浏览量：62 收藏量：0 资源大小：937KB 上传时间：2021-02-23

: 10 W横向流动准分子激光器本文报道了输出功率为10W的紫外(308nm)横向流动准分子激光器。给出了气体循环系统特性和X射线预电离剂量分布;最后,讨论了气体流速对激光输出的影响。
评级：0 浏览量：43 收藏量：0 资源大小：2.25MB 上传时间：2021-02-06

: 准分子激光在YBa 用光学光谱分析仪测量了XeCl准分子激光在YBa2Cu3O7-x超导靶面激励等离子体发射谱的轴向和径向分布,并由等离子体发射谱的径向分布拟合得到等离子体中激发态粒子的角分布.结果表明激光等离子体呈现cosθ分布,n值范围为...
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：1020KB 上传时间：2021-02-10

: 193毫微米ArF准分子激光器本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。
评级：0 浏览量：74 收藏量：0 资源大小：3.05MB 上传时间：2021-02-06

: ArF准分子激光器的窄线宽可调谐运转及注入放大在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件，用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm，调谐范围～1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级，注入后放大级效率提高了约50%...
评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：646KB 上传时间：2021-02-11

: 准分子激光角膜手术研究叙述了角膜手术对激光特性的要求,对准分子激光放切术(RK)和准分子激光消融术(PRK)进行了实验研究。
评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：1.95MB 上传时间：2021-02-10

: 准分子激光器现况 “准分子激光器”这个术语，并不是表示单一的器件，而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在几ns或几十ns时间内发射紫外或近紫外波长范围的强激光脉冲。商业准分子激光器通常能以不词混合气体运转，能...
评级：0 浏览量：46 收藏量：0 资源大小：3.67MB 上传时间：2021-02-08

: ArF准分子激光器的调频研究 The experimental research on spectral tuning of ArF excimer laser is reported. Frequency tuning for the UV-preionized discharge ArF excimer laser has been performed by using a simple two-prism ...
评级：0 浏览量：54 收藏量：0 资源大小：842KB 上传时间：2021-02-06

: 全固态激光系统可替代准分子激光器全固态激光系统可替代准分子激光器
评级：0 浏览量：33 收藏量：0 资源大小：1.12MB 上传时间：2021-02-11

: 高气压横流准分子激光器的流场效应本文采用平面剪切干涉仪测量了高气压横向流动准分子激光气体的流速。分析了放电能量使气体加热对激光输出的影响,均匀的横流技术使激光器在每秒16个脉冲频率下获得18W平均功率输出。
评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：2.4MB 上传时间：2021-02-06

: 以准分子激光在软性材料上制作图案以准分子激光在软性材料上制作图案
评级：0 浏览量：76 收藏量：0 资源大小：1.41MB 上传时间：2021-02-10

: 高效率放电抽运KrF准分子激光器 248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中，激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量，实现KrF准分子激光器的稳定放电，采用新型...
评级：0 浏览量：127 收藏量：0 资源大小：2.46MB 上传时间：2021-01-25

: 氩准分子激光器半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等，对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近，电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。
评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：1.73MB 上传时间：2021-02-08

: 氟化氨(KrF) 准分子激光器铮所属栏目：
评级：0 浏览量：89 收藏量：0 资源大小：942KB 上传时间：2021-02-06

: 308 nm准分子激光对C 测量在空气和真空中308 nm准分子激光对C60薄膜的刻蚀速率和刻蚀阈值，讨论了环境中氧气对刻蚀特性的影响。
评级：0 浏览量：39 收藏量：0 资源大小：1.13MB 上传时间：2021-02-10

: 高分子材料的准分子激光表面处理设计了308 nm XeCl准分子激光对高分子材料的表面处理系统,初步探讨了紫外激光处理高分子材料表面的物理和化学过程,用本实验装置对聚四氟乙烯材料进行表面处理,改进了材料的粘着性,测定了材料与水的浸润角和激光能量...
评级：0 浏览量：63 收藏量：0 资源大小：716KB 上传时间：2021-02-11

: 能提供高功率的Ar/Xe和F激光谱线的ArF/XeF准分子激光器电激发的ArF/XeF准分子激光器中，在产生准分子辐射之前，观察到了稀有气体及氟原子谱线的激光发射。一些Ar/Xe的谱线终止于亚稳能级，它们对于了解ArF/XeF准分子的形成有很重要的意义。观察到了五条新的氟原子激光...
评级：0 浏览量：62 收藏量：0 资源大小：1.62MB 上传时间：2021-02-08

: 准分子激光的新进展七十年代中期，准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标，使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来，准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时，继续发展新的泵浦技术和新的体系...
评级：0 浏览量：42 收藏量：0 资源大小：2.41MB 上传时间：2021-02-08

: 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准...
评级：0 浏览量：118 收藏量：0 资源大小：2.25MB 上传时间：2021-02-05

: 308毫微米准分子激光辐照皮肤的损伤阈报告本文报道了用XeCl准分子激光器研究皮肤紫外红斑的初步结果.采用白猪作动物模型,获得了最小红斑剂量(MRD50)的95%可信限为45.9～63.05mJ/cm2.
评级：0 浏览量：39 收藏量：0 资源大小：1.41MB 上传时间：2021-02-06

: 不锈钢材料的准分子激光打标介绍了微机控制准分子激光打标系统并进行了不锈钢表面打标的研究。在不同激光能量密度下不锈钢表面发生不同的变化；通过对激光作用不锈钢表面温度的计算得出打标阈值，即不锈钢熔点温度所对应的激光能量密度；在阈值...
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：1.6MB 上传时间：2021-02-10

: 一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器 准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳...
评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：791KB 上传时间：2021-02-11

: 准分子激光微制造技术及其应用比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS...
评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：1.84MB 上传时间：2021-02-11

: 高效率准分子激光器电子综合研究所激光研究室研制成功振荡效率高达2.9%的自动预电离型放电激励KeCl准分子激光器。准分子激光器应用最为重要的是要求激光装置具有高度的可靠性。最近发展的准分子激光技术，大幅度改善了以往装置的性能，...
评级：0 浏览量：33 收藏量：0 资源大小：1.03MB 上传时间：2021-02-25

: 眼科准分子激光实时监控能量计用此功率/能量计对248 nm准分子激光器进行模拟实验。测量结果表明,在1～50 Hz重复频率下,激光器输出能量的相对标准偏差在8.6%～10.7%。在模拟屈光手术设置参数下,对193 nm准分子激光器进行测量,表明此激光器输出能量...
评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：577KB 上传时间：2021-02-12

: 准分子激光的光束特性研究本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并讨论了它们与放电稳定性之间的关系。
评级：0 浏览量：43 收藏量：0 资源大小：8.58MB 上传时间：2021-02-06

: 准分子激光消融兔前列腺的实验研究报道了使用XeCl准分子激光(308 nm)照射兔前列腺标本。观察了在不同频率、不同介质等条件下对离体免前列腺组织的消融效果，测得损伤阈值为400 mJ/cm2。结果表明，准分子激光具有消融效果高、对周围组织损伤轻、损伤...
评级：0 浏览量：94 收藏量：0 资源大小：1.78MB 上传时间：2021-03-05

: ArF 准分子激光器线宽压缩技术 ArF 准分子激光器是实现45 nm 技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193 nm 的光谱线宽...
评级：0 浏览量：91 收藏量：0 资源大小：2.38MB 上传时间：2021-02-10

: KrF准分子激光泵浦H 利用KrF激光泵浦高压H_2,产生受激喇曼散射(SBS),得到时间宽被压缩的Stokes光和Anti-Stokes光,一阶Stokes光的发散角被压缩到泵浦光的1/3。研究了缓冲气体对Stokes光转换效率的影响。
评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：3.48MB 上传时间：2021-02-26

: 用准分子激光标刻硅片加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板，把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光束的强度...
评级：0 浏览量：52 收藏量：0 资源大小：652KB 上传时间：2021-02-08

: 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构，理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子...
评级：0 浏览量：66 收藏量：0 资源大小：1.44MB 上传时间：2021-01-25

: 用准分子激光系统探测臭氧美国宇航局戈达德空间中心研究人员正利用臭氧层吸收XeCl准分子激光辐射的特点来监测地球臭氧保护层消耗的情况。
评级：0 浏览量：40 收藏量：0 资源大小：649KB 上传时间：2021-02-08

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