本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。
评论星级较低,若资源使用遇到问题可联系上传者,3个工作日内问题未解决可申请退款~