没有合适的资源?快使用搜索试试~
我知道了~
文库首页
开发技术
其它
能量为0.5 J并用He作缓冲气体的ArF准分子激光器
能量为0.5 J并用He作缓冲气体的ArF准分子激光器
0 下载量
184 浏览量
2021-02-11
05:27:28
上传
评论
收藏
1.73MB
PDF
举报
温馨提示
立即下载
能量为0.5 J并用He作缓冲气体的ArF准分子激光器
资源推荐
资源评论
193毫微米ArF准分子激光器
浏览:21
本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。
ArF准分子激光器的窄线宽可调谐运转及注入放大
浏览:160
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效率提高了约50%...
高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究
浏览:172
结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光器的长腔特性,提出了实现其复合腔窄带激光模式锁定的解决方案,并进行了实验验证。与通常插入...
ArF 准分子激光器线宽压缩技术
浏览:128
ArF 准分子激光器是实现45 nm 技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193 nm 的光谱线宽...
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究
浏览:192
首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简化模型。然后基于该...
用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征
浏览:148
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的...
ArF准分子激光器的调频研究
浏览:167
The experimental research on spectral tuning of ArF excimer laser is reported. Frequency tuning for the UV-preionized discharge ArF excimer laser has been performed by using a simple two-prism ...
紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器
浏览:66
本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.
能提供高功率的Ar/Xe和F激光谱线的ArF/XeF准分子激光器
浏览:87
电激发的ArF/XeF准分子激光器中,在产生准分子辐射之前,观察到了稀有气体及氟原子谱线的激光发射。一些Ar/Xe的谱线终止于亚稳能级,它们对于了解ArF/XeF准分子的形成有很重要的意义。观察到了五条新的氟原子激光...
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究
浏览:39
高效率ArF准分子激光复合腔技术研究
ArF准分子激光振荡放大系统的研究
浏览:13
研究了ArF准分子激光振荡放大系统,中心波长193 nm。用一只闸流管作为开关元件,通过主充放电网络匹配,有效地解决了两台器件的放电抖动,振荡放大倍数达到约50倍,系统单脉冲输出能量50 mJ。光束发散角低于0.20 mrad。
深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究
浏览:121
在一台波长为193 nm、重复频率为4 kHz、单脉冲能量为5 mJ的ArF准分子激光器上进行了实验研究。结果表明,当脉冲个数仅为20时算法控制下的剂量精度即可达0.89%,不但满足亚微米光刻越来越严的剂量要求,而且有助于提高...
ArF和KrF准分子激光器用的光学材料和膜层的抗激光强度
浏览:199
ArF和KrF准分子激光器用的光学材料和膜层的抗激光强度
固体开关小能量准分子激光器的设计与实验研究
浏览:191
设计了无闸流管的固体开关小能量准分子激光器,其核心技术是基于SSPPM的应用,并采用金属-陶瓷结构腔体和电晕预电离以延长气体工作寿命。电极放电电压10-14 kV,电压上升时间约150 ns,抽运功率密度3.9-7.6 MW/cm3。ArF...
受激准分子气体放电可调谐ArF激光器
浏览:11
观察到ArF分子1933埃的强激光振荡。混合比为NF3:Ar:Ηe=1:55:630、总气压超过2.1大气压的混合气体由横放电激励。细调范围从1927埃至1936埃。脉宽15亳微秒的激光脉冲测得的输出能量为0.8亳焦耳。
用193毫微米ArF准分子激光对HgBr
浏览:171
收稿日期:1980-10-20
熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究
浏览:183
针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的...
准分子激光对钛宝石辐照作用的研究
浏览:62
采用波长为193 nm的ArF准分子激光对钛宝石进行辐照,对比辐照前后的吸收光谱,218 nm处的吸收增加幅度明显大于193 nm和266 nm的吸收峰。通过对不同品质因素(FOM)值样品在420 nm处的荧光强度检测,发现FOM值随荧光强度...
ArF和KrF放电激光器的调谐
浏览:164
用棱镜对充分钝化的双放电受激准分子激光器作简单调谐,结果使ArF和KrF的调谐范围超过20埃。这两种调谐都不是连续的,为自吸收区域内的非激射小孔所中断。双棱镜组的色散使KrF线宽为1~2埃,ArF线宽小于0.5埃。
Qt 5实现串口调试助手 (源工程文件、0积分下载)
浏览:191
5星 · 资源好评率100%
基于Qt 5实现串口调试助手,程序仅供参考,修改了之前十六进制接收0xA0--0xFF有误的问题,新增了窗口自适应(ui文件设置栅格),文件详情可看博客链接https://blog.csdn.net/m0_51294753/article/details/121405661。
【SystemVerilog】路科验证V2学习笔记(全600页).pdf
浏览:125
5星 · 资源好评率100%
SystemVerilog的听课学习笔记,包括讲义截取、知识点记录、注意事项等细节的标注。 目录如下: 第一章 SV环境构建常识 1 1.1 数据类型 1 四、二值逻辑 4 定宽数组 9 foreach 13 动态数组 16 队列 19 关联数组 21 枚举类型 23 字符串 25 1.2 过程块和方法 27 initial和always 30 func
AutoSAR标准协议4.2.2
浏览:147
5星 · 资源好评率100%
AutoSAR标准协议规范4.2.2,里面包含了AutoSAR组织所规定的AutoSAR架构的标准规范协议原文档。对AutoSAR的学习有一定的借鉴意义
光伏-储能并网系统仿真.rar
浏览:32
5星 · 资源好评率100%
该文件是清华大学储能课的期末大作业。用SIMULINK搭建了一个完整的光伏-储能并网系统。我的博客中介绍了系统实现的具体方法,欢迎查看!
GD32替换STM32注意事项.pdf
浏览:68
3星 · 编辑精心推荐
GD32 介绍与 STM32 兼容性汇总。STM32的代码直接在GD32上运行需要小部分的修改。按教程做对应修改就行哈。
XCP协议的规范文档
浏览:111
5星 · 资源好评率100%
XCP协议的原规范文档,主要包含了Part1-5共5个部分,其中第三部分又分为CAN、以太网和Sxl等。对于XCP协议的开发者和学习者有借鉴意义
NPPJSONViewer.zip
浏览:34
4星 · 用户满意度95%
NodePad++ JSON格式化插件
CANoe通过CAPL脚本实现自动测试
浏览:113
现在汽车行业用vector的工具进行自动测试,但是该自动测试模板很少,本案例是分享CAPL脚本自动化测试的模板,和自动控制测试步骤的XML模板,使用过程可以通过本人分享的文档来实现工程的建立到自动测试的完成。通过CAPL脚本+XML控制测试步骤,实现自动测试,生成测试报告。
蓝牙BLE协议中文版.pdf
浏览:115
蓝牙BLE协议中文版,帮助初学者更快掌握协议内容。协议为SIG官方协议的中文版,所有协议内容均与英文原版协议内容保持一致
VS2015安装证书,JavaScript_ProjectSystem.msi,JavaScript_LanguageService.msi
浏览:20
3星 · 编辑精心推荐
vs2015.iso包安装,不然会卡在安装包丢失或损坏
评论
收藏
内容反馈
立即下载
资源评论
资源反馈
评论星级较低,若资源使用遇到问题可联系上传者,3个工作日内问题未解决可申请退款~
联系上传者
评论
weixin_38657376
粉丝: 4
资源:
928
私信
上传资源 快速赚钱
我的内容管理
展开
我的资源
快来上传第一个资源
我的收益
登录查看自己的收益
我的积分
登录查看自己的积分
我的C币
登录后查看C币余额
我的收藏
我的下载
下载帮助
前往需求广场,查看用户热搜
最新资源
DelphiDelphi入门教程(基础教程+经典编程入门)delphirm
生成常见模拟调制信号和数字调制信号的频域波形
yolo开发 YOLO confsave(YOLO保存)
生成常见模拟调制和数字调制的时域波形图
一键添加【桌面右键∕关机∕锁屏∕重启】功能
基于bp神经网络的调制信号识别技术研究算法
卡尔曼滤波器的MPC汽车控制器(python)智能汽车
diffusion-master.zip
堆排序pata.pdf
一键开启小键盘的NumLock数字键
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议,欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理!
点击此处反馈
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功