repeatabi

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: 温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响高精度的重复性是保证检测精度的前提，也是精密检测中最重要的指标之一。在Fizeau干涉仪中，干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感，温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源，也是影响测量重复性的主要因素之一。...
评级：0 浏览量：136 收藏量：0 资源大小：3MB 上传时间：2021-01-25

: 基于数字反馈稳频的激光瓦斯遥测技术研制了一套基于数字反馈稳频的便携式瓦斯浓度遥测装置，采用电流和温度双重反馈稳频的策略抑制了激光器波长的长期漂移，同时也保证了光功率的长期稳定性。实验结果表明，9 h内激光器波长的长期漂移小于1.2 pm，光...
评级：0 浏览量：59 收藏量：0 资源大小：3.81MB 上传时间：2021-02-25

: 动态光散射反演算法的评价指标动态光散射反演算法参数的微小变化会导致解的巨大偏差，因此需建立反演算法的评价指标，据此对反演结果进行评价，以提高测量的精度。从相关函数的拟合精度、粒度分布的稳定性、测量结果的重复性等三个方面对反演算法...
评级：0 浏览量：138 收藏量：0 资源大小：3.43MB 上传时间：2021-02-23

: 基于数值模拟的高精度波长移相干涉仪随机误差分析研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机，采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理，对振动、空气扰动和...
评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：2.16MB 上传时间：2021-02-08

: 准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准...
评级：0 浏览量：113 收藏量：0 资源大小：2.25MB 上传时间：2021-02-05

: 基于正态形状索引的关键点提取算法针对传统关键点检测算法对噪声敏感及依赖于物体模型的形状特征等问题,提出一种基于正态加权的多尺度关键点提取算法。首先,在每个尺度上建立局部邻域的协方差矩阵,计算局部坐标系落在前两个坐标轴的比率大小,根据比率...
评级：0 浏览量：92 收藏量：1 资源大小：14.37MB 上传时间：2021-02-22

: 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试针对上海光源谱学显微光束线站的性能要求，对其核心部件单色器进行结构设计。阐述了单色器的扫描运动原理，论述了波长扫描机构的设计方案，具体分析平面镜和光栅的转角重复精度影响因素；描述光栅切换机构，着重分析...
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：2.37MB 上传时间：2021-02-12

: 一种极紫外单色仪波长定标新方法提出了一种极紫外(EUV)单色仪定标新方法。对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标，通过测量标准气体He空阴极光源的两条发射光谱30.38 nm和58.43 nm和标定过的中心波长为13.90 nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值...
评级：0 浏览量：127 收藏量：0 资源大小：1.62MB 上传时间：2021-02-05

: 高精度深紫外光学透射率测量装置的研制为了精确控制曝光剂量，需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量，有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏器，消除了准分子激光器偏振态不稳定带来...
评级：0 浏览量：54 收藏量：0 资源大小：2.23MB 上传时间：2021-02-23

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