准分子激光微透镜整形均束装置

准分子激光为峰值功率高、能量大的脉冲激光，同时具备波长在紫外波段的特殊性，在科研、医疗和工业等诸多领域具有十分重要的应用价值。但由于准分子激光器的工作原理所限，通常情况下其输出激光的光斑形状并不规则且能量分布较为复杂，目前各类型整形或均束光学系统在应用于这种复杂光源时仍然存在一定局限。