基于微透镜阵列的光束积分系统的性能分析

为了提升高功率固体激光器抽运光束的均匀性，研究了成像型和非成像型光束积分系统光束匀化机理。从光斑尺寸、最大入射角及光斑均匀性三个方面，详细对比了两种积分系统的性能特点。分析表明，成像型光束积分系统不但具有更好的匀化效果，相比非成像型还降低了对半导体激光器(LD)光束准直的要求，并且可调整微透镜阵列间距实现光斑尺寸的改变，拓展了系统应用范围。经实验测试，在照明范围内LD阵列光束经成像型积分系统后光斑不均匀性小于10%。