二氧化碳激光制备PMMA微透镜阵列

探索了一种新的微透镜阵列制作工艺，使用二氧化碳激光在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）表面进行选区刻蚀，研制出表面光洁、尺寸和曲率可控的微透镜阵列，并研究了其成形机理和加工特点。PMMA表面受激光照射区域被汽化蒸发，熔融PMMA在液面张力的作用下，凝固后与未扫描区域形成弧形边缘，当圆形未扫描区域表面被完全熔化后整个液面呈球状凸起，冷凝后形成透镜。透镜曲率半径随单位面积输入能量增加而减小。含有杂质较多或表面清洁度不达标的PMMA在激光照射下发生反应产生气泡和坏点，导致透镜质量降低。