像差补偿

光学系统 像差特性 光学制造 投影光刻 optical lithograp coating polarizat contrast 三级像差 high-orde third-ord compensat normal 成像系统 波前误差 imaging membrane deformati wavefront gratings corrected integrate grating spherical 激光技术 空间光调 laser femtoseco refractiv aberratio Zernike spatial 光学设计 有限元法 thermal finite 大气光学 图像处理 atmospher image static speckle active 视觉光学 人眼像差 自适应光 visual human adaptive deformabl linear on-orbit primary 线性模型 像差补偿 measureme surface variable asphere 主动光学 响应函数 response 全息光栅 干涉条纹 diffracti holograph interfere 变焦镜头 zoom lens optimizat 旋转补偿 波前像差 high imag clocking material 几何光学 geometric phase 缩放模型 inner scaling 医用光学 medical 飞秒脉冲 null comp 二次曲面 光学天线 centroid acquisiti 仿真模拟 low-order simulatio 激光光学 oxygen io 公差分析 tolerance beam shap slab lase 元件位移 分区加热 element district surf fringe 有限元分 全息光学 Bragg 高斯光学 离轴三反 Gaussian off-axis 研究论文 微型机器 数据处理 参考文献 专业指导 single zernike 数值计算 初始结构