光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究

为了对光刻物镜的像差进行补偿，设计了一种主动液体透镜，并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性。用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜，在考虑重力及静水压力的情况下，分别计算了一点至六点均布、各点均匀施加载荷作用下镜片的变形；然后对变形镜片的挠度进行了Zernike多项式拟合，得到了各标准Zernike多项式系数所表示的像差与机械挤压力之间的函数关系。计算表明：主动液体透镜的各标准Zernike多项式系数值随受力大小呈强线性关系；除一点受力变形外，在多点受力变形情况下主动液体透镜像差的前三项均为piston，defocus及n-foil；主动液体透镜对piston项及defocus项这两种像差的调节能力随受力点的增加有增强趋势，而对其他类型像差的调节能力则呈下降趋势。