ZnO薄膜;

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ZnO薄膜;

: Co掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜结构和光学性能的影响为了研究Co掺杂及掺杂浓度变化对ZnO薄膜结构及光学性能的影响,本文采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了不同Co掺杂浓度的ZnO薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜、傅里叶变换红外光谱仪、二维傅里叶变换、紫外-...
评级：0 浏览量：95 收藏量：0 资源大小：546KB 上传时间：2021-02-21

: 常压化学气相沉积法在Ag/Si(111)模板上生长ZnO薄膜及其性能研究采用常压金属有机化学气相沉积法(MOVCD),在Ag/Si(111)衬底上成功地生长出马赛克结构的ZnO薄膜。用光学显微镜观察表面形貌,结果显示有带晶向特征的微裂纹,裂纹密度为100 cm-1。依据X射线晶体衍射的结果,薄膜结晶质量...
评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：447KB 上传时间：2021-02-11

: 功率对射频磁控溅射生长ZnO薄膜性能的影响通过使用不同溅射功率的射频（RF）磁控溅射技术，在石英衬底上生长了氧化锌（ZnO）薄膜，该技术将其功率从10 W调整到200W。发现溅射功率起着重要的作用。在电影的成长过程中。检查了结晶度，吸收和光致发光（PL）的...
评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：961KB 上传时间：2021-04-30

: 直流溅射沉积在多孔硅上的ZnO薄膜 通过直流溅射技术，我们在多孔硅上沉积了ZnO薄膜，多孔硅被称为基于硅的发光材料。在室温下进行沉积，然后对样品进行退火以提高ZnO的结晶质量。将我们的结果与在Si晶片上形成的结果进行比较的讨论表明，在X射线...
评级：0 浏览量：66 收藏量：0 资源大小：1.14MB 上传时间：2020-06-04

: ZnO薄膜的光学性质研究采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积了c轴取向性好的ZnO薄膜。经过优化计算,获得并分析了不同氧分压下制备的ZnO薄膜的折射率n和消光系数k的数值;同时得到了吸收谱和光学带隙Eopt,用能带模型解释了Eopt的...
评级：0 浏览量：86 收藏量：0 资源大小：739KB 上传时间：2021-02-11

: 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型，模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布，讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系，分析了激光能量密度对薄膜...
评级：0 浏览量：86 收藏量：0 资源大小：4.72MB 上传时间：2021-02-04

: 脉冲激光沉积法制备氧化锌薄膜 利用脉冲激光沉积法(PLD)在氧气氛中烧蚀锌靶制备了纳米晶氧化锌薄膜,衬底为石英玻璃,晶粒尺寸约为28～35 nm。X射线衍射(XRD)结果和光致发光(PL)光谱的测量表明,当衬底温度在100～250 ℃范围内时,所获得的ZnO薄膜具有...
评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：601KB 上传时间：2021-02-10

: 水溶液法制备ZnO薄膜的研究水溶液法制备ZnO薄膜的研究，刘辉，靳正国，以硝酸锌和氨水为前驱生长液，采用低温水溶液法在涂敷ZnO晶种层的玻璃基底上外延生长ZnO棒状晶薄膜。应用SEM和XRD表征ZnO薄膜的形貌和
评级：0 浏览量：102 收藏量：0 资源大小：1.02MB 上传时间：2020-01-08

: In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究采用射频反应溅射技术在硅(100)衬底上制备了未掺杂和掺In的ZnO薄膜。掠角X射线衍射测试表明,实验中制备的掺In样品为ZnO薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计分别对两样品的结构、表面形貌和光致发光...
评级：0 浏览量：60 收藏量：0 资源大小：707KB 上传时间：2021-03-05

: ZnO薄膜紫外探测器的光电性质采用直流反应磁控溅射的方法制备ZnO薄膜, 用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见光谱仪(UV-Vis)分别表征ZnO薄膜的晶体结构和表面形貌等特征。并用此材料制备Au/ZnO/Au金属-半导体-金属(MSM)结构光电导型ZnO...
评级：0 浏览量：73 收藏量：0 资源大小：1.2MB 上传时间：2021-02-10

: ZnO薄膜的激光光声效应本文分析了ZnO薄膜的光声效应,推导了在一维条件下光声信号与压电系数、介电系数、热导、比热、调制频率之间的关系。实验表明光声信号的幅度和调制频率、入射光功率之间的理论分析吻合较好。同时还计算了ZnO薄膜的...
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：1.11MB 上传时间：2021-03-05

: 退火对PLD方法制备的ZnO薄膜紫外发光特性的影响在很多研究中，退火是提高ZnO薄膜晶体质量和改善其发光性能的有效方法。研究了脉冲激光沉积法(PLD)方法制备的ZnO薄膜退火后的发光特性，发现高温下和低温下生长的ZnO薄膜具有不同的发光特性。高温下生长的样品退火后...
评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：1.5MB 上传时间：2021-02-05

: 论文研究-半导体ZnO薄膜晶体管 .pdf 半导体ZnO薄膜晶体管，姚绮君，李德杰，本文介绍了一种以射频溅射ZnO材料为有源层的薄膜晶体管。在器件有源层制作中通过气氛控制、添加栅网屏蔽等方法改善器件性能。最终
评级：0 浏览量：109 收藏量：0 资源大小：399KB 上传时间：2019-08-19

: 论文研究-SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管，张景文，侯洵，在NH3和O2的混合气氛下，采用激光分子束外延法（L-MBE）在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜， XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高�
评级：0 浏览量：103 收藏量：0 资源大小：426KB 上传时间：2019-08-16

: 不同气氛下ZnO薄膜的准分子激光辐照效应研究了不同气氛下（空气、氧气和氮气）248 nm准分子激光辐照对ZnO薄膜光致发光谱和电学性质的影响；采用高斯线形对不同气氛下激光辐照ZnO薄膜的光致发光谱进行了拟合，并对位于3.31、3.28、3.247、3.1 eV附近的发光...
评级：0 浏览量：82 收藏量：0 资源大小：2.43MB 上传时间：2021-02-05

: 纳米ZnO薄膜对有机电致发光器件性能的影响在普通有机电致发光器件空穴传输层和发光层之间直接蒸镀一层纳米ZnO薄膜,当纳米ZnO薄膜的厚度为1nm时,器件的电流效率可达3.26cd/A,是没有纳米ZnO薄膜同类器件的1.24倍。适当厚度的纳米ZnO薄膜降低了发光层空穴的浓度...
评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：778KB 上传时间：2021-02-20

: 生长温度对ZnO薄膜晶体质量和发光特性的影响采用激光脉冲沉积法在Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,衬底温度分别为室温,200 ℃,300 ℃,400℃和500 ℃。用X射线衍射仪、拉曼光谱、扫描电子显微镜对薄膜的微结构进行了测量,并测量了室温下薄膜的光致发光特性。结果表明,...
评级：0 浏览量：104 收藏量：0 资源大小：1.66MB 上传时间：2021-02-10

: ITO电极与n-ZnO薄膜的欧姆接触特性 ITO电极与n-ZnO薄膜的欧姆接触特性，宋力君，杜国同，利用射频磁控溅射方法在n-ZnO薄膜上制备了厚度为100nm的铟锡金属氧化物（ITO）电极。为了降低ITO电极和n-ZnO薄膜之间的接触电阻，在高纯
评级：0 浏览量：208 收藏量：0 资源大小：1.53MB 上传时间：2019-12-29

: 衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和迁移率的影响衬底温度是影响ZnO薄膜特性的重要因素,可以在很大程度上改变薄膜的结晶结构,温度高低直接影响衬底表面吸附原子的表面迁移率,再蒸发和结晶情况.在室温下测量了不同温度生长的ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)曲线,探讨了最佳...
评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：1.08MB 上传时间：2021-02-08

: ZnO薄膜紫外发光强度与探测角度的关系不同方法制备的ZnO薄膜紫外光激射原理主要有两种:微谐振腔发光和随机发光测试。测量了脉冲激光沉积和热氧化法制备的ZnO薄膜在同等条件下其紫外激射强度随样品探测角度的变化,分析了激射强度变化的趋势,证实了它们因...
评级：0 浏览量：60 收藏量：0 资源大小：1.5MB 上传时间：2021-02-09

: 基片温度对脉冲激光沉积ZnO薄膜性质的影响本文基于脉冲激光沉积(PLD)方法, 利用光谱物理GCR-170型脉冲激光器Nd∶YAG的三次谐波, 实验上完成了在Al2O3(0001)基片上生长了ZnO薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、光致发光(PL)谱和光学透射谱对不同基片温度下沉积的...
评级：0 浏览量：72 收藏量：0 资源大小：2.13MB 上传时间：2021-02-10

: 脉冲激光沉积方法制备ZnO薄膜生长参量对发光特性的影响用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。以325 nm He-Cd激光器为光源对薄膜进行了荧光光谱分析,用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的结构和形貌进行了分析。脉冲激光沉积方法的主要...
评级：0 浏览量：46 收藏量：0 资源大小：801KB 上传时间：2021-02-12

: ZnO薄膜p型掺杂及同质p-n结的室温电致发光 (2007年) 本文系统地报道ZnO薄膜p型掺杂技术，其中包括N掺杂技术、共掺技术、Li掺杂技术、非故意掺杂技术、大尺寸失配元素掺杂技术等；在p型掺杂的基础上，实现ZnO同质p-n结室温电注入发光。
评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：408KB 上传时间：2021-05-15

: 自然掺杂及N-Al共掺杂ZnO薄膜的发光特性采用螺旋波等离子体辅助溅射技术制备了自然掺杂及N-Al共掺杂ZnO薄膜，对两种不同类型掺杂薄膜的低温光致发光(PL)特性进行了研究。实验结果表明，二者均呈现出了较强的与受主能级相关的发光特征，自然掺杂薄膜的光...
评级：0 浏览量：52 收藏量：0 资源大小：510KB 上传时间：2021-02-12

: 衬底温度对非极性ZnO薄膜结晶性能和发光特性的影响采用金属有机化学汽相沉积（MOCVD）设备在LiGaO2（100）衬底上制备了结晶性能良好的非极性ZnO薄膜。研究了衬底温度对ZnO薄膜结晶性能的影响。X射线衍射(XRD)分析结果表明在衬底温度为500 ℃时可以获得高质量的（1100...
评级：0 浏览量：79 收藏量：0 资源大小：1.37MB 上传时间：2021-02-25

: 不同氧分压下直流反应溅射ZnO薄膜的结构和光学特性在室温,不同氧分压条件下,采用Zn靶直流反应溅射在石英衬底上制备了具有纤锌矿结构(002)择优取向的ZnO薄膜。薄膜的生长速率随氧分压的增大而减小,在20％～30％之间存在一个拐点,在此点之前,溅射产额减小的速率很快,而...
评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：701KB 上传时间：2021-02-10

: 激光重复频率对ZnO薄膜发光特性的影响在不同激光重复频率下用脉冲激光沉积方法(PLD)在Si (111)衬底上生长了ZnO薄膜, 以325 nm He-Cd激光器为激发源获得了薄膜的荧光光谱以研究其发光特性, 用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的晶体结构和...
评级：0 浏览量：71 收藏量：0 资源大小：1.25MB 上传时间：2021-02-10

: 论文研究 - 气敏应用金属有机化学气相沉积铬掺杂氧化锌薄膜的合成与表征掺杂铬（Cr）的氧化锌ZnO薄膜通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术在420°C的温度下以不同的掺杂剂浓度沉积在玻璃基板上。研究了铬浓度对薄膜的形态，结构，光学，电学和气敏性能的影响。扫描电子显微镜结果表明...
评级：0 浏览量：108 收藏量：0 资源大小：5.47MB 上传时间：2020-05-25

: 杂质银对氧化锌薄膜气敏光学特性的影响用反应式射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZnO)薄膜和掺Ag的ZnO气敏光学传感薄膜。测量了这些薄膜在NOx气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,发现掺Ag后的ZnO薄膜对NOx气体的灵敏度高于纯ZnO薄膜,...
评级：0 浏览量：43 收藏量：0 资源大小：925KB 上传时间：2021-02-11

: 空穴载流子在多晶p-ZnO薄膜中的输运特性研究 (2010年) 利用变温霍尔测量技术,研究了空穴载流子在Li和N双受主掺杂的p型ZnO多晶薄膜中的输运特性。实验结果和理论模型的比较研究表明:当温度在85～140 K时,空穴载流子主要受晶界散射;当温度在140～300 K时,空穴载流子主要受...
评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：706KB 上传时间：2021-05-07

: ZnO薄膜界面失配与面内晶粒尺寸的定量关系已经研究了沉积在Si（100），（110）和（111）衬底上的ZnO薄膜的面内晶粒尺寸，以定量地了解晶粒尺寸和界面失配之间的关系。在界面附近的岛生长的后期，平均面内晶粒尺寸被测量为分别为5.6nm，6.5nm和5.0nm。在...
评级：0 浏览量：74 收藏量：0 资源大小：1.8MB 上传时间：2021-03-03

: ZnO纳米结构薄膜的水热法制备 ZnO纳米结构薄膜的水热法制备，柯健，戴英，低温条件下，采用水热法，在预先镀有ZnO晶粒层的玻璃基板上制备出ZnO纳米棒阵列，在Al基板上制备出ZnO片状纳米结构薄膜。并通过X射线
评级：0 浏览量：288 收藏量：1 资源大小：1.05MB 上传时间：2020-03-02

: 退火对ZnO薄膜晶体结构和ZnO/p-Si异质结光电性质的影响采用脉冲激光沉积方法在p-Si(100)衬底上生长ZnO薄膜,分别在500 ℃、600 ℃和700 ℃下真空退火,采用X射线衍射仪研究了退火对ZnO薄膜晶体结构的影响,并测量了ZnO的面电阻和 ZnO/p-Si异质结的I-V特性曲线。研究表明,...
评级：0 浏览量：121 收藏量：0 资源大小：886KB 上传时间：2021-02-26

: 论文研究-Levinson公式在ZnO薄膜晶体管上的应用 .pdf Levinson公式在ZnO薄膜晶体管上的应用，姚绮君，李德杰，本文将用于多晶材料薄膜晶体管的Levinson公式应用在ZnO 薄膜晶体管上，采用简单的曲线拟和，取得了和实验数据较为吻合的结果，并得到
评级：0 浏览量：137 收藏量：0 资源大小：348KB 上传时间：2019-08-15

: 激光冲击处理对ZnO薄膜性能的影响采用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了多组分ZnO 基陶瓷薄膜，利用Nd∶YAG 激光器对多组分ZnO基陶瓷薄膜进行了激光冲击处理，研究了激光冲击处理对多组分ZnO 基陶瓷薄膜压敏电性能的影响。结果表明，激光冲击...
评级：0 浏览量：38 收藏量：0 资源大小：2.79MB 上传时间：2021-02-12

: Eu掺杂ZnO薄膜的结构，光学和磁性通过射频磁控溅射在硅（1 0 0）衬底上沉积多晶Zn（1-x）Eu（x）O（x = 0，0.02，0.05）薄膜。研究了薄膜的结构，光学和磁性。... 铁磁性归因于Eu掺杂的ZnO薄膜的固有性质，并且可以通过束缚磁极化子模型来解释。
评级：0 浏览量：129 收藏量：0 资源大小：536KB 上传时间：2021-02-22

: p型ZnO薄膜制备和掺杂的研究进展 ZnO作为第三代半导体功能材料，一直受到国内外的广泛关注...综述了获得p型ZnO薄膜的制备方法和掺杂技术的研究进展，讨论了目前生长高质量的p型ZnO薄膜存在的困难，并对不同方法制备的p型ZnO薄膜的特点进行了比较分析。
评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：504KB 上传时间：2021-02-26

: PLD法制备纳米氧化锌薄膜 (2007年) 方法通过反应条件和工艺参数的控制，用PLD法制备纳米氧化锌薄膜，对所制备的纳米氧化锌薄膜进行XRD谱研究，采用原子显微镜观察其形貌并研究氧化锌薄膜的各种光学性质。结果在激光脉冲能量为150mJ、氧气压为20Pa...
评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：67KB 上传时间：2021-05-06

: 基于ZnO薄膜光学温变特性的反射式光纤温度传感器基于ZnO薄膜吸收光谱的温变特性，设计了一种反射式光纤温度传感器。该传感器以镀于蓝宝石三棱镜面上的ZnO薄膜作为敏感材料，采用三棱镜、凸透镜和位于凸透镜焦点处的光纤端面相配合的结构以及相应的反射式光路。室温...
评级：0 浏览量：55 收藏量：0 资源大小：2.12MB 上传时间：2021-02-26

: 溶胶-凝胶法制备铝和镓掺杂氧化锌薄膜的热稳定性对比研究溶胶-凝胶法制备铝和镓掺杂氧化锌薄膜的热稳定性对比研究，侯波，许爱燕，为了研究AZO和GZO薄膜在空气中的热稳定性能，本文采用溶胶-凝胶的方法在普通玻璃基片上镀制了掺杂浓度均为1 at.%的AZO和GZO薄膜。...
评级：0 浏览量：101 收藏量：0 资源大小：481KB 上传时间：2020-01-07

: 银纳米簇掺杂ZnO薄膜的紫外光电特性我们报道了在熔融石英衬底上掺有银纳米团簇的ZnO薄膜的紫外激光诱导的光伏效应。在266 nm脉冲激光的照射下，在25 ps的持续时间内，观察到半峰全宽的开路光电压约为1 ns。当用308 nm激光脉冲照射薄膜20 ns时，会...
评级：0 浏览量：59 收藏量：0 资源大小：458KB 上传时间：2021-02-23

: 有源层厚度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响 (2013年) 为优化氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT)的工艺参数,采用射频磁控溅射法沉积ZnO薄膜制备出不同有源层厚度的ZnO-TFT器件,探讨了有源层厚度对ZnO-TFT电学性能的影响.实验结果表明:有源层厚度在65nm附近时,ZnO-TFT器件的性能...
评级：0 浏览量：63 收藏量：0 资源大小：3.27MB 上传时间：2021-04-22

: 氧化锌薄膜的电化学沉积法制备及受激发射研究采用一种简单的电化学沉积法,在三电极化学池中,以单一的硝酸锌水溶液作为电沉积液,制备了高光学质量的半导体ZnO薄膜.透射光谱测量表明其光学带隙为3.35 eV,400～2000 nm波段的光学透过率大于80%.X射线衍射(XRD)和...
评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：151KB 上传时间：2021-02-12

: 常压化学气相沉积技术生长ZnO∶H薄膜的光学性质采用常压金属有机物化学气相沉积技术(APMOCVD),以二乙基锌(DEZn)为Zn源,去离子水(H2O)为氧源,N2作载气,在外延ZnO薄膜的反应气氛中通入少量氢气,在cAl2O3衬底上生长出了ZnO∶H薄膜。用X射线双晶衍射和光致发光谱...
评级：0 浏览量：89 收藏量：0 资源大小：402KB 上传时间：2021-02-11

: 柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性(英文) 以二乙基锌和水分别作为金属前驱体和反应物,利用原子层沉积方法(ALD)在柔性衬底上生长ZnO薄膜,讨论了生长温度对薄膜特性的影响。用AFM、XRD和HALL等对薄膜的表面形貌、晶体结构和电学性质进行表征,并且用PL光谱表征...
评级：0 浏览量：169 收藏量：0 资源大小：512KB 上传时间：2021-03-19

: ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析 (2006年) 采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备，探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻，退火对薄膜结构的影响。在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明：较低的退火温度有利于提高器件气敏特性，其中经600℃退火的ZnO薄膜...
评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：802KB 上传时间：2021-05-16

: PLD方法制备ZnO薄膜的特征温度研究 (2006年) 用PLD方法在Si（111）衬底上制备了ZnO薄膜。在薄膜的沉积过程中，用安装在激光脉冲沉积设备上的反射高能电子衍射仪（RHEED）对薄膜的生长进行了原位监测。结合薄膜的X射线衍射（XRD）分析和荧光光谱（PL）分析，发现...
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: 射频磁溅射沉积Eu掺杂ZnO薄膜中的铁磁性本文报道了通过射频磁溅射成功将（掺杂的ZnO薄膜成功沉积在硅（100）上。 X射线衍射图表明，Eu替代了晶格中的Zn。通过使用超导量子干涉装置在10 K和室温下获得铁磁环。在零场冷却曲线和场冷却曲线中均未发现不连续...
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: 磁控溅射法制备氮掺杂的氧化锌薄膜 (2009年) 目的比较氮掺杂的氧化锌薄膜与纯氧化锌薄膜的发光特性。方法用射频磁控溅射法，在玻璃衬底上通过控制氩气，氧气，氮气的流量，制备了纯氧化锌薄膜和氮掺杂的氧化锌薄膜样品。结果通过比较纯氧化锌薄膜样品和氮掺杂的...
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