没有合适的资源?快使用搜索试试~ 我知道了~
功率对射频磁控溅射生长ZnO薄膜性能的影响
需积分: 10 0 下载量 136 浏览量
2021-04-30
13:42:56
上传
评论
收藏 961KB PDF 举报
温馨提示
试读
6页
通过使用不同溅射功率的射频(RF)磁控溅射技术,在石英衬底上生长了氧化锌(ZnO)薄膜,该技术将其功率从10 W调整到200W。发现溅射功率起着重要的作用。在电影的成长过程中。 检查了结晶度,吸收和光致发光(PL)的特征。 此外,还通过使用原子力显微镜(AFM)观察了膜的表面形态。 在生长过程中增加功率后,以150 W的RF功率沉积的薄膜显示出最佳的晶体质量和光学性能。 150 W的拐点是可以检测到的。 据估计,这种趋势是由于由增大功率引起的从ZnO靶溅射出的颗粒的增强而引起的。 这些结果证明存在用于溅射技术的最佳功率操作窗口。 对此的物理机制已通过简单的定性模型和动力学方程式进行了解释。 由Elsevier BV发布
资源推荐
资源评论
资源评论
weixin_38622827
- 粉丝: 4
- 资源: 905
上传资源 快速赚钱
- 我的内容管理 展开
- 我的资源 快来上传第一个资源
- 我的收益 登录查看自己的收益
- 我的积分 登录查看自己的积分
- 我的C币 登录后查看C币余额
- 我的收藏
- 我的下载
- 下载帮助
最新资源
- 蓝桥杯2024年第十五届省赛真题-前缀总分
- com.qihoo.appstore_300101305-1.apk
- tensorflow-gpu-2.7.1-cp37-cp37m-manylinux2010-x86-64.whl
- tensorflow-2.7.2-cp37-cp37m-manylinux2010-x86-64.whl
- tensorflow-2.7.1-cp39-cp39-manylinux2010-x86-64.whl
- 蓝桥杯2024年第十五届省赛真题-传送阵
- com.qihoo.appstore_300101305.apk
- linux之线程同步一.doc
- keil5配色方案10种
- python烟花代码.doc
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议,欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理!
点击此处反馈
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功