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采用传统射频磁控溅射技术,通过引入SiO2缓冲层以及调节工作气压的方法,在Si衬底上制备具有高度(11-20)择优取向的ZnO薄膜.采用x射线衍射技术和原子力显微镜分析ZnO薄膜的晶体特性和择优取向.研究发现,引入SiO2缓冲层能显著减小ZnO/SiO2/Si三层结构声表面波器件的温度延迟系数(temperature coefficient of delay,TCD),当SiO2缓冲层厚度为200 nm时,ZnO薄膜同时具有(0002)和(11-20)择优取向,且TCD值仅为2×10-6℃-1左右,说明器
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weixin_38746951
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