ZnO/Al/ZnO多层复合透明导电薄膜制备与性能研究

ZnO/Al/ZnO多层复合透明导电薄膜制备与性能研究，王胖胖，邱志勇，本文采用直流磁控溅射方法室温下在玻璃基板上制备了氧化锌/铝/氧化锌（ZnO/Al/ZnO）多层复合透明导电薄膜（transparent conductive film）。基