ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂的生产力.pdf

ASYST的AMHS新方案——Agile Automation，旨在解决晶圆厂在提高设备利用率和减少晶圆处理时间之间面临的矛盾，以提升晶圆厂的生产力。AMHS（Automatic Material Handling System），即自动物料处理系统，是半导体制造过程中的关键部分，负责在生产流程中高效、准确地传输晶圆。然而，当AMHS成为产能瓶颈时，就需要创新的解决方案来打破这一限制。 Agile Automation是一种开创性的自动化物料处理方法，它通过模块化增强现有的AMHS系统。该方案的核心特性在于并行加载和卸载功能，能够同时处理多个工具，显著减少了对搭载置顶输送工具（Overhead Vehicles, OHV）的依赖。这导致了前开式芯片传送盒(FOUP)的运输时间大大缩短，提高了吞吐量和工具的使用效率，从而缩短了晶圆的生产周期。 Agile Automation的灵活性和模块化设计使得它能够轻松地与现有的工厂自动化系统集成，无论是改造现有晶圆厂还是新建设施，都能实现低风险的生产力提升。这种集成能力使得晶圆厂可以通过优化空间利用、减少工具数量以及降低电力消耗来实现成本节约。 此外，Agile Automation方案还集成了ASYST的先进技术，如DLT Lifting Loadport™，这是一种独立于搬运车的工具装载技术，允许工具自动装载和卸载，无需受搬运车控制。还有ASYST的新款Satellite StockerTM，它为工具附近的缓冲提供了高效率，适应高速、高通量的物料处理需求，进一步优化了晶圆在生产过程中的流动。 ASYST的AMHS新方案Agile Automation通过技术创新实现了晶圆厂生产力的显著提升，减少了生产瓶颈，优化了资源使用，并降低了运营成本，是半导体制造业提高效率和竞争力的重要工具。它的实施意味着晶圆厂可以更好地应对快速变化的市场需求，保持生产流程的灵活性和高效性。