ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂的生产力 (2).docx
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2022-11-24
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具有竞争力的晶圆厂必须一方面做到高设备利用率，一方面又使处于
制程中的晶圆量维持在最低，同时还必须让晶圆生产周期压缩到最短。这两项
要求可能互相抵触。而解决的关键是不要让简称为「AMHS」的「自动物料处
理系统」成为晶圆处理过程中的瓶颈，限制了晶圆厂的表现。
为半导体及平面显示器制造厂提供整合式自动化解决方案领导供货商
ASYST 今天宣布推出 Agile Automation,这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物
料处理（Automated Material Handling）方式。
Agile Automation 是 开创业界先例的解决方案. 它大幅增加晶圆厂的生
产力，通过模块化增强现有 AMHS 制度。Agile Automation 具有并行加载和卸
载几项工具的功能,同时大幅度减少对搭载置顶输送工具（Overhead Transport
Vehicles, OHV）的依赖. 这样造成显著缩短且更可预测前开式芯片传送盒
(FOUP)运输时间和巨幅地改善吞吐量和工具的使用.
由于其灵活和模块化结构，Agile Automation 可简单地与标准工厂自动
化系统整合，不论是在现有或新建的环境。这有助于提高晶圆厂生产力的管理
及低风险方法。使用 Agile Automation 方案，晶圆厂可以得到额外的节省，通
过减少地面空间的需求，可能性较少工具和降低功率消耗。
Agile Automation 整合 ASYST 先进的硬件，软件和服务的能力，及允许
定制透过业界标准界面与晶圆厂环境整合的应用。ASYST 整合若干新技术成为
Agile Automation 解决方案的一部份.这包含为悬吊式搬运车系统 (OHT)独立工
具装载的 DLT Lifting Loadport™. 这是 ASYST 关键技术,这技术允许工具
ASYSTS 新
Satellite StockerTM,,它提供高效率的近工具的缓冲; 适用于高速，高通量材料处
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