化学气相沉积TaC涂层的微观形貌及晶粒择优生长 (2008年)

利用TaCl5-Ar-C3H6体系,采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积TaC涂层微观形貌及晶粒择优生长。结果表明:在800~1 200 ℃时,随沉积温度升高,TaC颗粒从圆球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体,而其晶体择优取向依次从无明显择优取向向220和200转变;利用生长参数α和VAN DER DRIFT,MEAKIN的纳米级晶粒选择生长模型可较好地解释不同形貌的生长机制。当α=3时,薄膜会优先生长成200择优取向的金字塔晶粒;当α=1.5时,则容易生长成220取向的多角形晶粒。