基于研磨加工参数的亚表面损伤预测理论和试验研究* (2009年)

为实现研磨亚表面损伤深度的无损、快速和准确检测，并预测研磨参数对亚表面损伤深度的影响规律，针对光学材料研磨加工过程建立基于研磨加工参数的亚表面损伤深度预测模型。使用磁流变抛光斑点技术测量K9玻璃在不同研磨条件下的亚表面损伤深度，对上述预测模型进行试验验证。最后，提出以提高光学零件加工效率为目的的研磨加工策略。研究表明：建立的研磨亚表面损伤深度预测模型能够通过研磨加工参数对亚表面损伤深度进行有效的预测；研磨亚表面损伤深度与磨粒粒度、研磨盘硬度和研磨压强成正比关系，与研磨速度和研磨液浓度成反比关系；磨粒粒度对