GaAs-Ga_(1-x)AI_xAs双异质结激光器欧姆接触的研究 (1975年)

我们用正交表研究GaAs的欧姆接触工艺,实验结果表明,p―GaAs甩Au―Cr金、n―GaAs用Ag―Sn合金的欧姆接触工艺,比接触电阻率Rc<10~(-4)(欧姆)(厘米)~3应用于GaAs―Ga_(1-x)Al_xAs双异质结激光器,得到良好的效果。