相移干涉技术及相移获取方法研究进展

凭借非侵入、无损伤、高灵敏、高速率等优势, 相移干涉技术已成为波前检测和相位测量的重要技术, 也已被广泛应用于光学成像与测量等相关诸多领域。依据相移和光路特征对相移干涉技术进行了分类, 对典型的时间相移和空间相移干涉技术进行了特征评析；继而依据相移技术的发展, 列举了典型的相位恢复方法。针对发展的广义相移干涉技术, 依据相移运算特征对各类典型相移获取方法进行了特征分类, 继而讨论了广义相移获取方法中存在的问题和相应的解决方法。最后对相移干涉技术和相移获取方法的发展趋势作出了预测。