基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征

基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征，马龙，郭彤，提出了一种基于carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合的白光相移干涉算法，该方法快速，准确，非接触，垂直分辨力可达亚纳米级。