基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究 (2012年)

白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成，提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法的实现和数据处理的过程进行了讨论，得到了清晰的三维表面形貌图像。