光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法

针对光刻机照明系统的实际应用需求, 提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布进行转换, 可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数。以一种28 nm节点扫描光刻机照明系统的中继镜组为实例, 对其在传统照明模式下进行光瞳特性参数计算分析。仿真结果显示, 全视场光瞳椭圆度最大值为0.95%, X方向和Y方向光瞳极平衡性最大值分别为0.18%和0.19%, 四象限光瞳极平衡性最大值为0.66%, 均满足28 nm节点扫描光刻机实际指标需求。所提算法在光学设计阶段能快速评估光瞳性能。