没有合适的资源?快使用搜索试试~ 我知道了~
MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹算法
2 下载量 14 浏览量
2020-10-20
04:45:10
上传
评论
收藏 275KB PDF 举报
温馨提示
试读
5页
相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开.关键词:MEMS/NEMS;表面轮廓测量;模板;相位解包裹;边缘检测
资源推荐
资源评论
资源评论
weixin_38704786
- 粉丝: 13
- 资源: 1001
上传资源 快速赚钱
- 我的内容管理 展开
- 我的资源 快来上传第一个资源
- 我的收益 登录查看自己的收益
- 我的积分 登录查看自己的积分
- 我的C币 登录后查看C币余额
- 我的收藏
- 我的下载
- 下载帮助
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功