为了预测和评估微机电系统(ME MS )中微电极结构的绝缘性能,采用ME MS加工工艺,制备了电极间隙为5～40μm的金属铭薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜(SEM)进行了微电极表面的微观分析.研究结果表明:预击穿过程的电流-电压曲线说明,在击穿之前电流的变化主要包括自由带电粒子的定向迁移阶段、电流密度达到饱和阶段以及碰撞电离持续发展形成电子雪崩阶段;场致电子发射的Fowl er-Nordhei m曲线表明,当微电极的间
