热熔回流工艺参数对微球形结构高度影响的仿真研究 (2011年)

应用Marc软件仿真光刻胶熔融变形过程，研究热熔回流工艺参数对尺寸规格D×h为Φ500μm×66μm的微圆柱光刻胶熔融后微球形结构高度的影响。对仿真结果进行正交实验法分析，得出最佳工艺参数组合；对仿真结果进行单因素实验法分析，研究不同工艺参数对微球形结构高度的影响规律。结果表明，最佳工艺参数组合：加热速率1℃/s，加热温度110℃，保温时间45min；工艺参数对微球形结构高度的影响顺序为：保温时间>加热速率>加热温度。