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后退火对原子层沉积ZnO沟道/ Al2O3-介电薄膜晶体管电学特性的影响
后退火对原子层沉积ZnO沟道/ Al2O3-介电薄膜晶体管电学特性的影响
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后退火对原子层沉积ZnO沟道/ Al2O3-介电薄膜晶体管电学特性的影响
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