喷雾热解法制备掺锑二氧化锡薄膜及其性能表征* (2008年)

用喷雾热解法将掺杂锑的氯化亚锡溶液喷射到预先加热的玻璃管衬底上，制备了掺锑氧化锡透明导电薄膜。采用x射线衍射仪和扫描电镜分别对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。研究了不同掺锑量对薄膜点电阻的影响及在可见光范围内与透光率之间的关系。结果表明，掺杂锑的薄膜呈四方金红石结构，薄膜比较致密，进行掺杂后的薄膜电阻变小，当锑锡原子比为0.04时点电阻最小，约为28Ω/cm。镀膜玻璃管在可见光范围内透光率随锑掺杂量增多而减小。