用Cr/Au/Ni/Au制备n-GaN欧姆接触 (2005年)

为了获得n-GaN的低接触电阻的欧姆接触，采用Cr/Au/Ni/Au金属化系统与n-GaN形成欧姆接触，并对其不同温度下的接触电阻率进行了测试分析。室温下Cr/Au/Ni/Au的接触电阻率为0.32mΩ?cm2，随着温度的升高，接触电阻率略有增加，在300℃时接触电阻率为0.65mΩ?cm2，因此此欧姆接触适合在高温下使用。