基于紫外线可固化聚合物的高阶布拉格波导光栅滤光片

利用紫外固化材料SU-82005与热交联聚合物甲基丙烯酸甲酯一甲基丙烯酸缩水甘油酯[P（MMA—GMA）]分别作为波导芯层和包层材料，通过直接光刻技术，成功实现了厚度为5μm，宽度为9μm，光栅高度为4μm的起伏型高阶布拉格波导光栅滤波器。对光栅器件的谐振波长，光透射率等重要参数进行了模拟设计。测得制备的聚合物高阶布拉格波导光栅滤波器的谐振波长为1550．4nm，消光比为23dB，3-dB带宽为2nm。