高品质因子聚合物波导微环谐振腔滤波器

基于紫外固化胶和聚砜聚合物材料体系，采用脊形单模波导结构，理论设计并优化了聚合物波导环形谐振腔滤波器的波导截面参数、弯曲半径和耦合区波导间距等结构参数，分析了其滤波响应特性。并在此基础上，结合光刻、反应离子刻蚀等传统的微加工工艺制备了聚合物环形谐振腔滤波器，并进行了光谱测试，器件测试结果与设计基本符合。结果表明，该聚合物微环谐振腔滤波器在通信波段1550 nm附近的自由光谱范围为0.21 nm，3 dB带宽为0.04 nm，插入损耗为26 dB，消光比达到了11 dB，品质因子达到了3.87×104。该聚合物微环谐振腔滤波器可以用于光通信及光传感集成芯片。