强惯性冲击下MEMS磁盘谐振器的可靠性因素分析

增加偏置电压是一种减少电容式磁盘电阻的运动电阻的方法。 匹配射频电路阻抗的振荡器。 但是关于可靠工作范围的研究报道很少。 冲击和振动环境下的偏置电压。 因此，磁盘谐振器的可靠性在本文分别对阶跃和脉冲加速度的影响进行了系统的分析。 通过表达磁盘在可靠条件下所能承受的最大惯性加速度，最大可靠范围曲线为得到了在动态冲击环境下的磁盘谐振器。 根据实际磁盘大小从文献中可以看出，当提供13000g的阶跃冲击力时，可靠性范围降低到75％ 与原始状态相比。 对于脉冲冲击，可靠性范围与脉冲幅度和时间宽度。 本文的研究可为圆盘谐振器的偏置电压选择提供依据。 惯性冲击。