论文研究-基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件 .pdf

基于薄膜体声波谐振器的超高分辨率MEMS湿度敏感元件，赵洪元，张代化，本文介绍了一种基于旋涂了PVA薄膜的MEMS薄膜体声波谐振器的高分辨率湿度传感器。本传感器表现出对水蒸气的高敏感度，并可通过监测��