氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析

氮化硅薄膜力学性能的纳米压痕测试与分析，张良昌，许向东，纳米压入法在薄膜材料力学性能测试领域中有着广泛的应用。本文利用纳米压入技术对PECVD氮化硅（SiNx）薄膜的力学性能进行了测量与分