用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管 (2005年)

描述了一种用（110）晶面硅片制造微米针管的新方法。利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造，针管内径约10gm，外径约90μm，长度约500μm。整个针管结构平坦，便于与微泵等其他MEMS器件相接合，用于无痛皮下注射器和生化采样等。微米针管的制作工艺相对简单，材料廉价，适合于工业化批量生产。