本文研究的是组合式三轴高克加速度计，这种加速度计是利用压阻效应原理工作的高精度传感器。以下是根据提供的内容进行的详细知识点说明：
1. 压阻式传感器原理：加速度计的核心工作原理是基于压阻效应，即当半导体材料受到应力时其电阻值会发生变化。在本研究中，通过特殊位置上布置的四个电阻形成了一个惠斯通桥系统，其中两个电阻置于拉应力位置，另外两个则位于压应力位置。在高冲击力作用下，芯片会产生弹性形变，这种形变会显著改变压敏电阻的阻值，从而通过测量对应的输出电压值来获得加速度值。
2. 结构设计：组合式三轴高克加速度计由三部分组成：一个立方体基座、三个圆柱形杯垫和三个单轴传感芯片。首先将三个杯垫粘贴在立方体基座的三个相邻的正交表面上。接着使用粘接工艺将芯片与杯垫连接起来。杯垫的作用是作为缓冲，防止瞬间的巨大冲击力破坏芯片。杯垫中央和立方体基座表面中央都设有圆形孔洞，其功能是为了保证芯片正反两面的气压相同，因为不同的气压可能造成芯片变形，并导致测量误差。
3. 有限元分析（FEA）：研究团队首先对单轴高G加速度计芯片进行了结构上的有限元分析。有限元分析（FEA）是利用计算机软件模拟物理现象的一种方法。在此过程中，对加速度计进行建模并施加各种边界条件和负载，以预测其在真实环境下的物理行为和反应。FEA的使用帮助研究者验证了组合式三轴高G加速度计结构的合理性，并确认其能在高冲击负载下正常工作。
4. 高冲击校准实验：在设计和分析之后，通过高冲击校准实验对组合式三轴高G加速度计进行了验证。该实验旨在获取所有关键参数，包括量程、灵敏度等。这一过程对于确保加速度计的性能达到设计要求至关重要。
5. 技术特点：该组合式三轴高G加速度计继承了压阻式传感器的传统优势，并减少了坐标轴之间的干扰。这种加速度计对横向加载不敏感，且具有高可靠性和高分辨率。它适用于需要高精度测量的场合，如航空航天、汽车碰撞测试、地震监测等领域。
6. 材料选择与制造工艺：论文中提到“通过蚀刻过程形成了膜岛结构”，这指的是使用光刻和蚀刻技术在半导体材料上制造出特定的传感器结构。材料选择通常涉及到硅基材料，因为硅具有良好的机械和电学特性，适合用于制造压阻式传感器。
总结以上内容，该研究介绍了组合式三轴高克加速度计的设计、制造过程以及测试验证方法，突出了压阻式传感器的工作原理、结构设计的合理性以及通过高冲击校准实验所得到的性能参数。这些知识点对于了解和设计高精度加速度测量系统具有重要意义。
