为提高聚合物光波导放大器的增益性能,利用高温法合成了BaLuF5:Yb3+,Er3+纳米晶,并分别对纳米晶的形貌、晶体结构和近红外发射特性进行了表征。测试结果表明,纳米晶平均粒径为13nm,并在1530nm处具有较强的发射,荧光半高宽为50nm。将合成的纳米晶掺杂入SU-8聚合物作为光波导放大器的芯层材料,使用光刻显影等工艺,在表面长有二氧化硅的硅衬底上制备出了聚合物光波导放大器。当980nm波长泵浦光功率为280mW、信号光波长为1530nm且功率为0.1mW时,在长度为1.1cm的光波导放大器中,获得
