通过使用非常高频的等离子体增强化学气相沉积技术,在150°C的低温下制备了发光的a-SiCxOy膜。 当将氧含量从29%增加到44%时,所制备的a-SiCxOy膜呈现出显着的光致发光,并具有黄色至蓝色的发射光发射。 有趣的是,在明亮的房间里用肉眼可以清楚地看到可见区域的光发射。 分别通过拉曼光谱和傅里叶变换红外吸收光谱进一步研究了膜的结构和化学组成。 根据PL结果和薄膜的键合构型分析,表明Si发出黄光 C相关的缺陷发光中心,而蓝色发射与Si相关的氧缺陷发光中心有关。
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