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激光等离子体X射线摄谱及T
激光等离子体X射线摄谱及T
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激光等离子体X射线谱诊断
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激光等离子体有助于改进X射线光刻
浏览:10
为了迅速突破集成电路的X射线光刻工艺,华盛顿州贝尔里尤的Spectra Technology研究小组发展了一种高亮度激光等离子体源。用这种X射线光刻可望大大提高电路板的生产效率。
激光等离子体可改进X射线光刻术
浏览:63
美国光谱技术公司研制出一种高亮度激光等离子体源,用于集成电路的χ射线光刻术的快速生产。该法可能使晶片生产效率大大提高。目前,在集成电路平版印刷术中紫外线法占统治地位,然而该技术无法满足亚微米线宽的要求。虽然在短期内电子束源似乎有希望,然而对于大多数应用来说,它们太慢、太笨重。显然X射线光刻术是未来的方向。
用于激光等离子体X射线诊断的谱仪 (2008年)
浏览:92
为了诊断波长为0.5~0.8 nm的激光等离子体X射线,研制了一种新型的高空间和光谱分辨率的晶体谱仪。采用2个不同分光计材料、不同形状且相互垂直分布的通道可以同时获得谱线的空间和光谱分辨率。利用成像板接收光谱信号,其有效接收面积为30 mm×80 mm。讨论晶体基本参数和给出了谱仪设计参数。在中国工程物理研究院激光聚变研究中心的20 J激光器装置进行实验,两个方向的成像板同时获取得到了Al激光等离
适合X射线光刻的激光等离子体源
浏览:82
对微电路电子元件更大密度(Mbit/cm2)的需求仍在继续增长。增加密度的一个限制是难以减少硅晶片涂复杭蚀剂的最小特征尺寸(目前为0.7 μm)。 为了达到1000 Mbit/1600 mm2的密度,特征尺寸分辨率必须降到0.2 μm左右。
激光等离子体X射线偏振度探测
浏览:186
为了对激光等离子体偏振状态进行诊断,研究了X射线偏振度的测量方案及推算方法,利用两台晶体谱仪分别在相互正交的两方向对等离子体辐射的X射线进行探测,以确定其偏振度。光谱仪采用PET晶体作为分光器件,成像板...
箍缩等离子体X射线能谱诊断
浏览:4
为了研究和诊断箍缩聚变的...对实验所得能谱信息进行分析,石英球面弯曲晶体得到等离子体X射线的能谱分辨率约为1092,与X射线能谱分辨几何模型理论值比较吻合。实验结果表明石英球面弯曲晶体可以用于X射线的能谱诊断。
激光等离子体X射线极化光谱诊断
浏览:12
针对波长为0.5~0.8 nm的激光等离子体X射线极化度的诊断, 研制了一种新型适用的基于空间分辨的极化谱仪。在极化谱仪内的垂直和水平通道上分别布置正交的季戊四醇(PET)晶体色散元件。信号采用成像板进行接收, 有效...
论文研究 - 激光产生的等离子体X射线源,用于纳米级分辨率的接触显微镜:癌干细胞成像的候选人
浏览:197
用于生物显微镜的等离子X射线源是通过将Nd:玻璃激光的单次聚焦在1×1013 W·cm−2和3×1013 W·cm−2的辐照度下的碳棒靶上而暴露出来的,从而暴露出测试对象。 获得有关被测样品的高精度信息所需的最佳参数,即:...
激光等离子体X射线背光源诊断研究
浏览:145
为诊断激光驱动金属靶产生X射线背光源的性能,利用椭圆聚焦特性,研制了一种背光椭圆晶体谱仪。谱仪的色散分析元件为云母(002)晶体,椭圆弯晶的焦距为1350 mm,离心率为0.9586。激光束以30°角斜入射背光薄靶,且与椭圆弯晶长轴方向垂直。背光椭圆弯晶谱仪的布拉格入射角为50°~67°,衍射探测角为100°~120°,探测的波长为0.14~0.16 nm,采用X射线CCD相机接收信号。利用神光Ⅱ
等离子体波导中的复合X射线激光
浏览:86
短脉冲强激光和气体靶相互作用可产生等离子体波导。利用自相似模型,得到了等离子体波导中等离子体参数的时空演化。利用自编制的程序,以类He氮为例,研究了在这种等离子体波导中,产生复合机制X射线激光的过程。研究表明,在等离子体波导中有可能产生复合机制X射线激光,从而有可能利用等离子波导获得大GL值的复合机制X射线激光。
激光等离子体实验中测量离子和X射线的能量计
浏览:95
本文叙述了离子和X射线能量计的原理、结构及其定标特性。在激光等离子体实验中得到了一些结果,并作了分析和讨论。
铜及玻璃壳靶激光等离子体X射线谱的辨认
浏览:153
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激光产生MgIX等离子体软X射线谱的识别
浏览:151
用掠入射光栅光谱仪拍摄了4~12nm波段范围内镁的激光等离子体软X射线发射光谱。利用等电子数序列离子光谱的规律性,对镁的类铍电离级离子跃迁的软X光谱线进行了识别。
激光等离子体X射线椭圆弯晶谱仪的设计
浏览:31
为了诊断0.2~2 nm的激光等离子体X射线,研制了一种新型的基于时间分辨和空间分辨的聚焦型椭圆弯晶谱仪,采用两个完全相同且对称分布的通道可以同时获得谱线的空间和时间分辨率。给出了弯晶谱仪的设计参数,采用了新颖...
高分辨X射线晶体谱仪及其在激光等离子体中的应用
浏览:156
新设计的椭圆型聚焦晶体谱仪首次在“神光Ⅱ”X光激光靶室上成功地获得了激光等离子体谱线信息并辨认和归类了一些离子的谱线,同时还给出了实验测定的谱仪能量分辨率。其中一些离子谱线诸如类离子共振线、伴线、互组合...
软X射线透射光栅谱仪用于激光等离子体辐射特性研究Ⅱ.实验结果
浏览:167
利用铜激光等离子体L带特征线(1.15nm)辐射,对PTGS的衍射效率进行了标定,确定了PTG的基本参数。报道了利用PTGS研究激光等离子体软X射线辐射特性的系列实验结果。
液体靶激光等离子体产生X射线
浏览:144
以液体为靶,对激光等离子体产生X射线做了详尽的论述。以液体为靶的激光等离子体产生X射线大大减少了碎片的产生,同时也具有与固体靶几乎相同的转换效率,是一种很有潜力的产生X射线的方法。
金丝Z箍缩等离子体X射线椭圆弯晶谱仪研究
浏览:16
为了测量波长在0.2-2 nm范围内的金丝内爆X射线的空间分辨光谱,利用椭圆自聚焦原理,研制了一种椭圆晶体谱仪。季戊四醇(PET)(002)椭圆弯晶作为色散分析元件...实验结果表明该谱仪适合金丝内爆等离子体X射线的光谱学研究。
X射线激光在柱状等离子体中传播的理论研究
浏览:193
对于电子密度和增益为线性分布的等离子体,在几何光学近似下,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程,并给出了X射线激光的输出光强随偏转角的变化关系及偏离轴向的折射角.同时给出了X射线的饱和长度.
冷冻靶激光等离子体软X射线源
浏览:45
报道了以固态CO2作为靶材的一种新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。
1.06 μm激光等离子体软X射线辐射及对原子序数的依赖
浏览:105
详细地研究了1.06 μm激光等离子体X光的辐射特性;分析了不同谱带发射强度对激光能量的依赖关系,并给出了K、L、M、N、O谱带发射强度对原子序数的依赖关系.
等离子体中的激光辐射高效地转换成软X射线
浏览:141
根据文献资料,等离子体中的激光辐射能量转换成软X射线的转换效率α的最大值α
低碎片激光等离子体软X射线源的实验研究
浏览:16
报道了一种以固态CO2为靶的低碎片激光等离子体软X射线源的初步研究结果,描述了光源的结构及自制的透射光栅谱仪,测量了该软X射线源的光谱辐射特性,并对它的污染情况进行了研究。
超短超强激光等离子体相互作用研究的进展及其潜在的应用.pdf
浏览:115
从激光技术的发展、超短超强激光等离子体相互作用研究的特点、方法、内容及其潜在的应用等5个方面对强场物理在国内外的情况作了
飞秒和纳秒激光脉冲作用下等离子体X射线辐射特性
浏览:26
对飞秒和纳秒激光作用下的Al和Cu等离子体的X射线辐射进行了测量、 分析和比较。 实验结果表明在飞秒激光脉冲下等离子体X射线峰值向短波方向移动。 同时Al等离子体的的电离阶数和温度在飞秒下比纳秒高。
Z箍缩等离子体X射线椭圆弯晶谱仪
浏览:62
为了测量Z箍缩等离子体X射线的空间分辨光谱, 利用椭圆聚焦原理, 研制了一种...在“阳”加速器装置上进行摄谱实验,胶片成功获取了氩喷气等离子体X射线的跃迁光谱, 实测谱线分辨率(λ/Δλ)达300~500,波长与理论值吻合。
基于激光等离子体X光源的软X射线全息显微成像实验的模拟研究
浏览:115
对目前实际可获得的台式激光等离子体X射线光源各种性能进行了分析,论证了利用这类设备获得有实际应用价值的X光全息图的可行性.并在此基础上进行数值模拟,讨论了各种参数对实验结果的影响,讨论了缩短实验时间及获得更...
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