一种新型MEMS加速度计温度补偿方法研究? (2015年)

为降低环境温度对加速度计测量输出的影响，本文提出了一种新的加速度计温度补偿方法，即三维拟合曲面和计算的补偿方法。本文详细介绍了该温度补偿方法的具体原理和实现方法，并用实验进行了验证，实验结果表明加速度计最大零位漂移由温度补偿前的500 mV缩小为温度补偿后的50 mV，即温漂缩小了一个数量级，补偿效果明显。