355 nm纳秒和1064 nm皮秒激光加工蓝宝石研究

利用波长355 nm的纳秒激光和1064 nm的皮秒激光对蓝宝石基片进行刻槽及切割实验，通过控制变量法研究了微槽深度、宽度及质量随工艺参数变化的情况，并进行对比分析。结果表明，355 nm纳秒激光加工过程存在很大的热作用，而且刻蚀效率低，即使其峰值功率密度达到109 W/cm2也不能实现对蓝宝石毛坯片的图形切割；而1064 nm皮秒红外激光切割微槽的质量很高，几乎可实现完全的“冷加工”。最后，通过分析总结，认为激光峰值功率密度达到1012 W/cm2可实现对蓝宝石基片的图形切割，且利用平均功率1 W、单脉冲能量1 mJ、脉宽15 ps的1064 nm红外激光，实现了0.55 mm厚蓝宝石毛坯基片的高质量图形切割。